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宇部工業高等専門学校
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ULSIプロセス技術
原央編. -- 培風館, 1997. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 17). <BB01299444>
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ULSIプロセス技術
原央編. -- 培風館, 1997. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 17). <BB01299444>
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巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
コメント
返却予定日
予約
0001
宇部高専
閲覧室
549.7||||990739
067439
0件
No.
0001
巻号
所蔵館
宇部高専
配置場所
閲覧室
請求記号
549.7||||990739
資料ID
067439
状態
コメント
返却予定日
予約
0件
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書誌詳細
標題および責任表示
ULSIプロセス技術 / 原央編
ULSI プロセス ギジュツ
出版・頒布事項
東京 : 培風館 , 1997.6
形態事項
x, 286p ; 22cm
巻号情報
ISBN
456303617X
書誌構造リンク
アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修||アドバンスト エレクトロニクス シリーズ <BB00825289> カテゴリー1 . エレクトロニクス材料・物性・デバイス||エレクトロニクス ザイリョウ ブッセイ デバイス ; 17//aa
注記
執筆: 有門経敏ほか
注記
参考文献: 各章末
注記
索引あり
学情ID
BA30760470
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
原, 央
ハラ, ヒサシ <NC:DA00849593>
分類標目
電子工学 NDC8:549.7
分類標目
電子工学 NDC9:549.7
件名標目等
集積回路||シュウセキカイロ
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