アドバンストエレクトロニクスシリーズ<br> ＵＬＳＩプロセス技術

アドバンストエレクトロニクスシリーズ
ＵＬＳＩプロセス技術

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  • サイズ A5判／ページ数 286p／高さ 22cm
  • 商品コード 9784563036171
  • NDC分類 549.7
  • Cコード C3355

内容説明

ＩＣから、ＵＬＳＩ、さらにＧＳＩへと発展しようとしている集積回路は、高度情報・通信社会の基盤を支える技術である。本書はこれら最先端の集積回路を実現するために必要な、広範囲なプロセス技術に関する解説書である。

目次

１　集積回路の構造と必要なプロセス技術
２　微細加工技術
３　簿膜堆積技術
４　酸化膜技術
５　不純物導入技術
６　清浄化技術
７　結晶成長技術
８　高・強誘電体薄膜形成技術
９　プロセスモジュール技術
１０　プロセスシミュレーション技術
１１　ＵＬＳＩプロセス技術の将来動向と課題