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よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み : リソグラフィ技術の核心に迫る : 微細化の鍵

佐藤淳一著. -- 秀和システム, 2011. -- (How-nual図解入門 ; visual guide book). <BB02145811>
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よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み : リソグラフィ技術の核心に迫る : 微細化の鍵

佐藤淳一著. -- 秀和システム, 2011. -- (How-nual図解入門 ; visual guide book). <BB02145811>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日
0001 呉高専 図書館開架 549.7||Sa-85 90037810
No. 0001
巻号
所蔵館 呉高専
配置場所 図書館開架
請求記号 549.7||Sa-85
資料ID 90037810
状態
コメント
返却予定日
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書誌詳細

標題および責任表示 よくわかる最新半導体リソグラフィの基本と仕組み : リソグラフィ技術の核心に迫る : 微細化の鍵 / 佐藤淳一著
ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ リソグラフィ ノ キホン ト シクミ : リソグラフィ ギジュツ ノ カクシン ニ セマル : ビサイカ ノ カギ
出版・頒布事項 東京 : 秀和システム , 2011.10
形態事項 271p ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784798030630
書誌構造リンク How-nual図解入門||How nual ズカイ ニュウモン <BB00793157> visual guide book//a
注記 文献:p271
学情ID BB07554941
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 佐藤, 淳一(1954-)
サトウ, ジュンイチ <NC:DA16920788>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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