旭川工業高等専門学校
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はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 工業調査会, 2003. -- (ビギナーズブックス ; 29). <BB00325246>
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はじめての半導体リソグラフィ技術

岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 工業調査会, 2003. -- (ビギナーズブックス ; 29). <BB00325246>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日
0001 旭川高専 開架書架 508||G 29||Bigi 1082968
No. 0001
巻号
所蔵館 旭川高専
配置場所 開架書架
請求記号 508||G 29||Bigi
資料ID 1082968
状態
コメント
返却予定日
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書誌詳細

標題および責任表示 はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 2003.6
形態事項 305p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4769312245
書誌構造リンク ビギナーズブックス||ビギナーズ ブックス <BB00135173> 29//a
学情ID BA62674459
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 岡崎, 信次
オカザキ, シンジ <NC:DA14057979>
著者標目リンク 鈴木, 章義
スズキ, アキヨシ <NC:DA14057990>
著者標目リンク 上野, 巧
ウエノ, タクミ <NC:DA05966288>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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