内容説明
超微細加工は薄型ディスプレイやＬＳＩなどの電子デバイスには欠かせないキーテクノロジーであり、最近では医療分野でも重要な役割を果たしています。原子をもあやつって、いろんなモノを陰で支える基礎技術です。この本では“トコトンやさしい”解説を心がけ、多くの方に「超微細加工」がどんなものであるか、どんなことができるか、将来どのようになっていくのであろうかをわかっていただけるように努めています。
目次
第１章 ナノテクの中核技術、超微細加工（ナノテクでモノ作りその中核超微細加工；超微細加工の加工法 ほか）
第２章 基板作りの基本（基板になるもの；ガラスの基板を作る ほか）
第３章 基板にパターンを転写（光を使った露光；電子ビームで露光 ほか）
第４章 薄膜の作り方とその性質（薄膜とその作り方；真空とその単位 ほか）
第５章 さまざまな技術で薄膜を作る（蒸着法のソース；レーザアブレーション ほか）
著者等紹介
麻蒔立男［アサマキタツオ］
昭和９年愛知県に生まれる。昭和３２年静岡大学工学部電子工学科卒業。日本電気株式会社に入社。昭和４２年日電バリアン（現、アネルバ）株式会社設立と同時に出向。昭和４９年工学博士。昭和５１年～５２年日本真空協会理事、研究部会長。昭和６１年日電アネルバ（株）取締役。平成２年東京理科大学教授。平成１年～９年日本真空協会個人理事。平成１２年～１５年日本真空協会評議員。昭和６０年高速スパッタ装置の発明により東京都知事賞受賞（関東地方発明表彰）。平成１３年度第２６回技術賞受賞（日本真空協会）。現在、東京理科大学嘱託教授
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感想・レビュー
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黒とかげ
