熊本高等専門学校

SOI構造形成技術

古川静二郎編著. -- 産業図書, 1987. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB00821548>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日
0001 熊本(熊本) (熊本)閲覧室4907 549.8||175 00054150
No. 0001
巻号
所蔵館 熊本(熊本)
配置場所 (熊本)閲覧室4907
請求記号 549.8||175
資料ID 00054150
状態
コメント
返却予定日

書誌詳細

標題および責任表示 SOI構造形成技術 / 古川静二郎編著
SOI コウゾウ ケイセイ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 産業図書 , 1987.10
形態事項 281p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4782856253
書誌構造リンク 集積回路プロセス技術シリーズ||シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ <BB00383437>//a
学情ID BN01517109
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 古川, 静二郎
フルカワ, セイジロウ <NC:DA00241925>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 シリコン(半導体)||シリコン(ハンドウタイ)