熊本高等専門学校
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超LSI時代のプラズマ化学

「電子材料」編集部編. -- 工業調査会, 1983. <BB00506656>
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超LSI時代のプラズマ化学

「電子材料」編集部編. -- 工業調査会, 1983. <BB00506656>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日
0001 熊本(熊本) (熊本)3階書庫7306 431||17 00039011
No. 0001
巻号
所蔵館 熊本(熊本)
配置場所 (熊本)3階書庫7306
請求記号 431||17
資料ID 00039011
状態
コメント
返却予定日
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書誌詳細

標題および責任表示 超LSI時代のプラズマ化学 / 「電子材料」編集部編
チョウ LSI ジダイ ノ プラズマ カガク
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1983.9
形態事項 6, 213p : 挿図 ; 22cm
巻号情報
ISBN 4769310315
注記 参考文献: 各章末
学情ID BN00621353
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 電子材料編集部
デンシ ザイリョウ ヘンシュウブ <NC:DA00677476>
分類標目 物理化学．理論化学 NDC8:431.7
分類標目 科学技術 NDLC:PA181
分類標目 科学技術 NDLC:MC241
件名標目等 プラズマ||プラズマ
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