熊本高等専門学校
開館カレンダー     ヘルプ ログイン
  • 目録検索 目録検索 ▼
  • 利用者サービス 利用者サービス ▼
    • 利用状況の確認
    • ブックマーク
    • お気に入り検索
    • 新着アラート
    • ILL複写依頼
    • ILL貸借依頼
    • 新規購入依頼

熊本高等専門学校

検索結果一覧へ戻る

半導体プラズマプロセス技術

菅野卓雄編著. -- 産業図書, 1980. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB01368842>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
詳細情報を見る
書誌URL：

半導体プラズマプロセス技術

菅野卓雄編著. -- 産業図書, 1980. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB01368842>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
詳細情報を見る
書誌URL：

所蔵一覧 1件～2件（全2件）

ナンバーをクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日
0001 熊本(熊本) (熊本)閲覧室4907 549.8||106 00036509
0002 熊本(熊本) (熊本)3階書庫8104 549.8||106||ロ 00036510
No. 0001
巻号
所蔵館 熊本(熊本)
配置場所 (熊本)閲覧室4907
請求記号 549.8||106
資料ID 00036509
状態
コメント
返却予定日
No. 0002
巻号
所蔵館 熊本(熊本)
配置場所 (熊本)3階書庫8104
請求記号 549.8||106||ロ
資料ID 00036510
状態
コメント
返却予定日
このページのTOPへ

書誌詳細

標題および責任表示 半導体プラズマプロセス技術 / 菅野卓雄編著
ハンドウタイ プラズマ プロセス ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 産業図書 , 1980.7
形態事項 6, 373p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4782856210
書誌構造リンク 集積回路プロセス技術シリーズ||シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ <BB00383437>//a
注記 各章末:参考文献
学情ID BN0059785X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 菅野, 卓雄(1931-)
スガノ, タクオ <NC:DA00071803>
分類標目 NDC6:549.7
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
このページのTOPへ
検索結果一覧へ戻る
このページのTOPへ

  • 関連情報

    関連資料

    他の検索サイトで探す

    他大学資料確認

    資料を取り寄せる

    • ILL複写依頼(コピー取り寄せ)
    • ILL貸借依頼(現物借用)

    購入依頼

    この書誌のQRコード