熊本高等専門学校

プロセスの基礎

西沢潤一編. -- 工業調査会, 1983. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 20 . 超LSI技術 ; 7). <BB00021675>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日
0001 熊本(熊本) (熊本)3階書庫8104 549.8||110||20 00036777
No. 0001
巻号
所蔵館 熊本(熊本)
配置場所 (熊本)3階書庫8104
請求記号 549.8||110||20
資料ID 00036777
状態
コメント
返却予定日

書誌詳細

標題および責任表示 プロセスの基礎 / 西沢潤一編
プロセス ノ キソ
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1983.8
形態事項 10, 394p : :挿図 ; 27cm
巻号情報
ISBN 4769310323
書誌構造リンク 半導体研究 / 半導体研究振興会編||ハンドウタイ ケンキュウ <BB00473039> 20 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 7//bb
注記 各章末: 参考文献
学情ID BN00282815
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 西澤, 潤一(1926-)
ニシザワ, ジュンイチ <NC:DA00235944>
分類標目 電子工学 NDC8:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体||ハンドウタイ