高知工業高等専門学校
ヘルプ ログイン
  • 目録検索 目録検索 ▼
  • 利用者サービス 利用者サービス ▼
    • 利用状況の確認
    • ブックマーク
    • お気に入り検索
    • 新着アラート
    • ILL複写依頼
    • ILL貸借依頼
    • 新規購入依頼

高知工業高等専門学校

検索結果一覧へ戻る

現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

小島啓安著. -- 日刊工業新聞社, 2008. <BB01839740>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
詳細情報を見る
書誌URL：

現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス

小島啓安著. -- 日刊工業新聞社, 2008. <BB01839740>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
詳細情報を見る
書誌URL：

所蔵一覧 1件～1件（全1件）

ナンバーをクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 高知高専 開架 549.8||215 S10603 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 高知高専
配置場所 開架
請求記号 549.8||215
資料ID S10603
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
このページのTOPへ

書誌詳細

標題および責任表示 現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス / 小島啓安著
ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク キュー アンド エー : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 2008.8
形態事項 ix, 384p ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784526061196
その他の標題 異なりアクセスタイトル:現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス
ゲンバ ノ スパッタリング ハクマク Q&A : ハンノウセイ コウソク スパッタ ノ ジツム アドバイス
注記 参考文献: p372-380
学情ID BA87015099
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 小島, 啓安
コジマ, ヒロヤス <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
件名標目等 薄膜||ハクマク
このページのTOPへ
検索結果一覧へ戻る
このページのTOPへ

  • 関連情報

    関連資料

    他の検索サイトで探す

    他大学資料確認

    資料を取り寄せる

    • ILL複写依頼(コピー取り寄せ)
    • ILL貸借依頼(現物借用)

    購入依頼

    この書誌のQRコード