マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス

マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス

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  • サイズ B5判/ページ数 254p/高さ 27X20cm
  • 商品コード 9784563034702
  • NDC分類 549
  • Cコード C3053

目次

1 マイクロマシーニング
2 マイクロフィジックス
3 マイクロメカニカルセンサ
4 マイクロアクチュエータとマイクロメカニズム
5 マイクロメカトロニクス(「まめ」)システム
6 応用
7 将来動向と課題

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