大島商船高等専門学校
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マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる

野々垣三郎著. -- 丸善, 1986. -- (Frontier technology series ; [002]). <BB01987894>
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野々垣三郎著. -- 丸善, 1986. -- (Frontier technology series ; [002]). <BB01987894>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 大島商船高専 閲覧室 408||F1||2 B000003593 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 大島商船高専
配置場所 閲覧室
請求記号 408||F1||2
資料ID B000003593
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる / 野々垣三郎著
マイクロ リソグラフィー : IC LSI ワ コウシテ ツクラレル
出版・頒布事項 東京 : 丸善 , 1986.10
形態事項 viii, 116p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4621031155
書誌構造リンク Frontier technology series <BB01761192> [002]//a
注記 参考書: p115-116
学情ID BN01140871
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 野々垣, 三郎
ノノガキ, サブロウ <NC:DA01285347>
分類標目 印刷 NDC8:749.1
分類標目 NDC7:749.13
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 フォートエッチング||フォートエッチング
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
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