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宇部工業高等専門学校
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はじめての半導体リソグラフィ技術
岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 技術評論社, 2012. -- (現場の即戦力). <BB01651017>
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はじめての半導体リソグラフィ技術
岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著. -- 技術評論社, 2012. -- (現場の即戦力). <BB01651017>
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巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
コメント
返却予定日
予約
0001
宇部高専
研究室
549.7||||149934
149934
禁帯出
0件
0002
宇部高専
閲覧室
549.7||||116205
116205
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0001
巻号
所蔵館
宇部高専
配置場所
研究室
請求記号
549.7||||149934
資料ID
149934
状態
禁帯出
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0件
No.
0002
巻号
所蔵館
宇部高専
配置場所
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請求記号
549.7||||116205
資料ID
116205
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書誌詳細
標題および責任表示
はじめての半導体リソグラフィ技術 / 岡崎信次, 鈴木章義, 上野巧著
ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
出版・頒布事項
東京 : 技術評論社 , 2012.1
形態事項
x, 301p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN
9784774149394
書誌構造リンク
現場の即戦力||ゲンバ ノ ソクセンリョク <BB00520648>//a
その他の標題
異なりアクセスタイトル:半導体リソグラフィ技術 : はじめての
ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ : ハジメテ ノ
注記
工業調査会 2003年刊の改訂
注記
参考文献: 各章末
学情ID
BB07670705
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
岡崎, 信次
オカザキ, シンジ <NC:DA14057979>
著者標目リンク
鈴木, 章義
スズキ, アキヨシ <NC:DA14057990>
著者標目リンク
上野, 巧
ウエノ, タクミ <NC:DA05966288>
分類標目
電子工学 NDC8:549.7
分類標目
電子工学 NDC9:549.7
件名標目等
リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等
半導体||ハンドウタイ
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