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クラスターイオンビーム基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術

山田公編著. -- 日刊工業新聞社, 2006. <BB00903325>
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クラスターイオンビーム基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術

山田公編著. -- 日刊工業新聞社, 2006. <BB00903325>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 宇部高専 閲覧室 549.1||||097910 097910 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 宇部高専
配置場所 閲覧室
請求記号 549.1||||097910
資料ID 097910
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 クラスターイオンビーム基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術 / 山田公編著
クラスター イオン ビーム キソ ト オウヨウ : ジセダイ ナノ カコウ プロセス ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 2006.10
形態事項 xi, 223p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4526057657
その他の標題 標題紙タイトル:Cluster ion beam technology : advanced nano fabrication process
その他の標題 標題紙タイトル:クラスターイオンビーム : 基礎と応用 : 次世代ナノ加工プロセス技術
クラスター イオン ビーム : キソ ト オウヨウ : ジセダイ ナノ カコウ プロセス ギジュツ
学情ID BA79102802
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 山田, 公
ヤマダ, イサオ <NC:DA05853383>
分類標目 電子工学 NDC8:549.1
分類標目 電子工学 NDC9:549.1
件名標目等 イオンビーム||イオンビーム
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