宇部工業高等専門学校

レジスト材料

伊藤洋著 ; 高分子学会編集. -- 共立出版, 2005. -- (高分子先端材料One Point / 高分子学会編集 ; 10). <BB00729994>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 宇部高専 研究室 549.7||||113926 113926 禁帯出 0件
0002 宇部高専 閲覧室 549.7||||095780 095780 0件
0003 宇部高専 研究室 578||||096892 096892 禁帯出 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 宇部高専
配置場所 研究室
請求記号 549.7||||113926
資料ID 113926
状態 禁帯出
コメント
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 宇部高専
配置場所 閲覧室
請求記号 549.7||||095780
資料ID 095780
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
No. 0003
巻号
所蔵館 宇部高専
配置場所 研究室
請求記号 578||||096892
資料ID 096892
状態 禁帯出
コメント
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 レジスト材料 / 伊藤洋著 ; 高分子学会編集
レジスト ザイリョウ
出版・頒布事項 東京 : 共立出版 , 2005.2
形態事項 iv, 104p : 挿図 ; 19cm
巻号情報
ISBN 4320043723
書誌構造リンク 高分子先端材料One Point / 高分子学会編集||コウブンシ センタン ザイリョウ One Point <BB00574428> 10//a
学情ID BA70954224
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 伊藤, 洋(1946-)
イトウ, ヒロシ <>
著者標目リンク 高分子学会
コウブンシ ガッカイ <NC:DA00047161>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等 感光性樹脂||カンコウセイジュシ