呉工業高等専門学校
ヘルプ ログイン
  • 目録検索 目録検索 ▼
  • 利用者サービス 利用者サービス ▼
    • 利用状況の確認
    • ILL複写依頼
    • ILL貸借依頼

呉工業高等専門学校

検索結果一覧へ戻る

マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる

野々垣三郎著. -- 丸善, 1986. -- (Frontier technology series ; [002]). <BB01987894>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
詳細情報を見る
書誌URL：

マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる

野々垣三郎著. -- 丸善, 1986. -- (Frontier technology series ; [002]). <BB01987894>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
詳細情報を見る
書誌URL：

所蔵一覧 1件～2件（全2件）

ナンバーをクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日
0001 呉高専 図書館書庫 408||F-48||2 90010192
0002 呉高専 図書館開架 408||F-48||2 90012965
No. 0001
巻号
所蔵館 呉高専
配置場所 図書館書庫
請求記号 408||F-48||2
資料ID 90010192
状態
コメント
返却予定日
No. 0002
巻号
所蔵館 呉高専
配置場所 図書館開架
請求記号 408||F-48||2
資料ID 90012965
状態
コメント
返却予定日
このページのTOPへ

書誌詳細

標題および責任表示 マイクロリソグラフィー : IC,LSIはこうしてつくられる / 野々垣三郎著
マイクロ リソグラフィー : IC LSI ワ コウシテ ツクラレル
出版・頒布事項 東京 : 丸善 , 1986.10
形態事項 viii, 116p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4621031155
書誌構造リンク Frontier technology series <BB01761192> [002]//a
注記 参考書: p115-116
学情ID BN01140871
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 野々垣, 三郎
ノノガキ, サブロウ <NC:DA01285347>
分類標目 印刷 NDC8:749.1
分類標目 NDC7:749.13
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 フォートエッチング||フォートエッチング
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
このページのTOPへ
検索結果一覧へ戻る
このページのTOPへ

  • 関連情報

    関連資料

    他の検索サイトで探す

    他大学資料確認

    資料を取り寄せる

    • ILL複写依頼(コピー取り寄せ)
    • ILL貸借依頼(現物借用)

    この書誌のQRコード