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半導体プロセス・形状シミュレーション技術 : 加工精度向上のツボ
重里有三, 高木茂行共著. -- オーム社, 2012. <BB01231875>
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半導体プロセス・形状シミュレーション技術 : 加工精度向上のツボ
重里有三, 高木茂行共著. -- オーム社, 2012. <BB01231875>
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
コメント
返却予定日
0001
津山高専
図書館(技術)
549.8||S
201201042
No.
0001
巻号
所蔵館
津山高専
配置場所
図書館(技術)
請求記号
549.8||S
資料ID
201201042
状態
コメント
返却予定日
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書誌詳細
標題および責任表示
半導体プロセス・形状シミュレーション技術 : 加工精度向上のツボ / 重里有三, 高木茂行共著
ハンドウタイ プロセス ケイジョウ シミュレーション ギジュツ : カコウ セイド コウジョウ ノ ツボ
出版・頒布事項
東京 : オーム社 , 2012.10
形態事項
x, 220p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN
9784274212741
その他の標題
異なりアクセスタイトル:半導体プロセス形状シミュレーション技術 : 加工精度向上のツボ
ハンドウタイ プロセス ケイジョウ シミュレーション ギジュツ : カコウ セイド コウジョウ ノ ツボ
注記
参考文献: 各章末
学情ID
BB10806146
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
重里, 有三
シゲサト, ユウゾウ <NC:DA12600887>
著者標目リンク
高木, 茂行
タカギ, シゲユキ <>
分類標目
電子工学 NDC8:549.8
分類標目
電子工学 NDC9:549.8
件名標目等
半導体||ハンドウタイ
件名標目等
シミュレーション||シミュレーション
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