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イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等

平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員. -- イオン工学研究所, 2003. <BB00891810>
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イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等

平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員. -- イオン工学研究所, 2003. <BB00891810>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日
0001 津山高専 図書館(参考図書) 549.1||H 020030341 禁帯出
No. 0001
巻号
所蔵館 津山高専
配置場所 図書館(参考図書)
請求記号 549.1||H
資料ID 020030341
状態 禁帯出
コメント
返却予定日
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書誌詳細

標題および責任表示 イオン工学ハンドブック : ナノテクノロジーへの道を拓く : 薄膜合成・加工・イオン注入・表面改質・デバイス応用・マイクロマシン等 / 平尾孝編集委員長 ; 岩本信也 [ほか] 編集委員
イオン コウガク ハンド ブック : ナノ テクノロジー エノ ミチ オ ヒラク : ハクマク ゴウセイ カコウ イオン チュウニュウ ヒョウメン カイシツ デバイス オウヨウ マイクロ マシン トウ
出版・頒布事項 枚方 : イオン工学研究所 , 2003.5
形態事項 xviii, 1126p ; 27cm
その他の標題 異なりアクセスタイトル:ナノテクノロジーへの道を拓くイオン工学ハンドブック
ナノ テクノロジー エノ ミチ オ ヒラク イオン コウガク ハンド ブック
注記 監修: 水野博之
注記 その他の編集委員: 尾浦憲治郎 , 鯉沼秀臣, 笹部馨, 松波弘之
注記 参考文献あり
学情ID BA63759670
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 平尾, 孝
ヒラオ, タカシ <NC:DA0549966X>
著者標目リンク 岩本, 信也
イワモト, ノブヤ <NC:DA04797119>
著者標目リンク 尾浦, 憲治郎(1941-)
オウラ, ケンジロウ <NC:DA14067214>
著者標目リンク 鯉沼, 秀臣
コイヌマ, ヒデオミ <NC:DA07721055>
著者標目リンク 笹部, 馨
ササベ, カオル <>
著者標目リンク 松波, 弘之(1939-)
マツナミ, ヒロユキ <NC:DA01850066>
著者標目リンク 水野, 博之
ミズノ, ヒロユキ <NC:DA00719452>
分類標目 電子工学 NDC9:549.1
分類標目 科学技術 NDLC:ND351
件名標目等 イオン||イオン
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