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マイクロセンサ工学(現場の即戦力)
室 英夫,
藍 光郎,
石垣 武夫,
石森 義雄,
岡山 努
著
発行年月 |
2009年08月 |
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言語 |
日本語 |
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媒体 |
冊子 |
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ページ数／巻数 |
２３４ｐ |
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大きさ |
21 |
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ジャンル |
和書／理工学／工学一般／工学一般 |
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ISBN |
9784774139043 |
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商品コード |
0109063822 |
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NDC分類 |
501.22 |
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商品URL
| https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=0109063822 |
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著者紹介
室 英夫（著者）：〈室英夫〉東京大学大学院工学研究科修士課程修了。日産自動車（株）中央研究所で半導体センサの研究開発に従事。２００６年より千葉工業大学教授。共著に「次世代センサハンドブック」など。
内容
センサの基本的な分類と各種変換効果、ＭＥＭＳセンサを製造するためのマイクロマシーニング技術、各センサに共通の信号処理回路を解説するほか、「光センサ」「機械量センサ」「流体センサ」など、センサ各論も収録する。
