スパタリング現象 - 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

スパタリング現象 - 基礎と薄膜・コーティング技術への応用

  • ただいまウェブストアではご注文を受け付けておりません。
  • サイズ A5判/ページ数 231p/高さ 22cm
  • 商品コード 9784130610476
  • NDC分類 431.86

出版社内容情報

〔目次〕 1序論,2スパタリング現象の特徴,3スパタリングの理論,4特殊なスパタリング現象,5スパタリング法による薄膜作製装置,6スパタリングでつくられた薄膜の特徴,7スパタリング薄膜の応用,各章文献,索引.

最近チェックした商品