明石工業高等専門学校
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スパッタ薄膜 : 基礎と応用

小林春洋著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB01527393>
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小林春洋著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB01527393>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 明石高専 書庫(2階) 427||6||K 089996 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 明石高専
配置場所 書庫(2階)
請求記号 427||6||K
資料ID 089996
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 スパッタ薄膜 : 基礎と応用 / 小林春洋著
スパッタ ハクマク : キソ ト オウヨウ
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1993.2
形態事項 v, 172, viip ; 21cm
巻号情報
ISBN 4526032735
学情ID BN08694157
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 小林, 春洋(1925-)
コバヤシ, ハルヒロ <NC:DA00045891>
分類標目 電子工学 NDC8:549
件名標目等 薄膜||ハクマク
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