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よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み～製造装置の全体を俯瞰する～ 第2版(図解入門)
佐藤 淳一
著
発行年月 |
2016年08月 |
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言語 |
日本語 |
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媒体 |
冊子 |
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ページ数／巻数 |
259p |
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大きさ |
21cm |
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ジャンル |
和書／理工学／電気・電子工学／電気機器 |
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ISBN |
9784798047263 |
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商品コード |
1022090448 |
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NDC分類 |
549.8 |
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本の性格 |
実務向け |
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新刊案内掲載月 |
2016年10月1週 |
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商品URL
| https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=1022090448 |
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著者紹介
佐藤 淳一（著者）：京都大学大学院工学研究科修士課程修了。半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。長崎大学工学部非常勤講師等を務めた。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」等。
内容
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
