舞鶴工業高等専門学校
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実用ドライエッチング技術

菅原実[編]. -- リアライズ社, 1992. <BB00402531>
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実用ドライエッチング技術

菅原実[編]. -- リアライズ社, 1992. <BB00402531>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日
0001 舞鶴高専 図書館書架 549.8||Su28 0084012 貸出中 2024/6/22
No. 0001
巻号
所蔵館 舞鶴高専
配置場所 図書館書架
請求記号 549.8||Su28
資料ID 0084012
状態 貸出中
コメント
返却予定日 2024/6/22
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書誌詳細

標題および責任表示 実用ドライエッチング技術 / 菅原実[編]
ジツヨウ ドライ エッチング ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : リアライズ社 , 1992.7
形態事項 208p ; 27cm
巻号情報
ISBN 4947655542
注記 各章末:参考文献
学情ID BN1538695X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 菅原, 実
スガワラ, ミノル <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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