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はじめての半導体ドライエッチング技術

野尻一男著. -- 改訂版. -- 技術評論社, 2020. -- (現場の即戦力). <BB01997678>
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はじめての半導体ドライエッチング技術

野尻一男著. -- 改訂版. -- 技術評論社, 2020. -- (現場の即戦力). <BB01997678>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日
0001 舞鶴高専 図書館書架 549.8||N93 0094163
No. 0001
巻号
所蔵館 舞鶴高専
配置場所 図書館書架
請求記号 549.8||N93
資料ID 0094163
状態
コメント
返却予定日
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書誌詳細

標題および責任表示 はじめての半導体ドライエッチング技術 / 野尻一男著
ハジメテ ノ ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
版事項 改訂版
出版・頒布事項 東京 : 技術評論社 , 2020.11
形態事項 x, 188p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784297115999
書誌構造リンク 現場の即戦力||ゲンバ ノ ソクセンリョク <BB00520648>//a
注記 ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。基礎から装置、最先端の応用技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望についても言及する。
注記 文献: 章末
学情ID BC03398841
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 野尻, 一男
ノジリ, カズオ <>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
分類標目 電子工学 NDC10:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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