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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合
益一哉, 年吉洋, 町田克之監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2019. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 686 . 新材料・新素材シリーズ). <BB01750131>
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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合
益一哉, 年吉洋, 町田克之監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2019. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 686 . 新材料・新素材シリーズ). <BB01750131>
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所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
コメント
返却予定日
0001
舞鶴高専
図書館書架
549.7||Ma66
0093235
学科推薦図書
No.
0001
巻号
所蔵館
舞鶴高専
配置場所
図書館書架
請求記号
549.7||Ma66
資料ID
0093235
状態
コメント
学科推薦図書
返却予定日
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書誌詳細
標題および責任表示
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 / 益一哉, 年吉洋, 町田克之監修
イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS NEMS センサ CMOSLSI ノ ユウゴウ
版事項
普及版
出版・頒布事項
東京 : シーエムシー出版 , 2019.4
形態事項
ix, 279p : 挿図 ; 26cm
巻号情報
ISBN
9784781313641
書誌構造リンク
CMCテクニカルライブラリー||CMC テクニカル ライブラリー <BB01290919> 686 . 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ//aa
その他の標題
標題紙タイトル:Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications
その他の標題
異なりアクセスタイトル:異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合
イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : メムス ネムス センサ シーモス エルエスアイ ノ ユウゴウ
注記
2012年刊の普及版
注記
文献: 各章末(第31章, 第32章には無し)
学情ID
BB28002091
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
益, 一哉
マス, カズヤ <NC:DA19243154>
著者標目リンク
年吉, 洋
トシヨシ, ヒロシ <NC:DA12229417>
著者標目リンク
町田, 克之
マチダ, カツユキ <>
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