舞鶴工業高等専門学校

異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合

益一哉, 年吉洋, 町田克之監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2019. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 686 . 新材料・新素材シリーズ). <BB01750131>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日
0001 舞鶴高専 図書館書架 549.7||Ma66 0093235 学科推薦図書
No. 0001
巻号
所蔵館 舞鶴高専
配置場所 図書館書架
請求記号 549.7||Ma66
資料ID 0093235
状態
コメント 学科推薦図書
返却予定日

書誌詳細

標題および責任表示 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合 / 益一哉, 年吉洋, 町田克之監修
イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS NEMS センサ CMOSLSI ノ ユウゴウ
版事項 普及版
出版・頒布事項 東京 : シーエムシー出版 , 2019.4
形態事項 ix, 279p : 挿図 ; 26cm
巻号情報
ISBN 9784781313641
書誌構造リンク CMCテクニカルライブラリー||CMC テクニカル ライブラリー <BB01290919> 686 . 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ//aa
その他の標題 標題紙タイトル:Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications
その他の標題 異なりアクセスタイトル:異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合
イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : メムス ネムス センサ シーモス エルエスアイ ノ ユウゴウ
注記 2012年刊の普及版
注記 文献: 各章末(第31章, 第32章には無し)
学情ID BB28002091
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 益, 一哉
マス, カズヤ <NC:DA19243154>
著者標目リンク 年吉, 洋
トシヨシ, ヒロシ <NC:DA12229417>
著者標目リンク 町田, 克之
マチダ, カツユキ <>