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リソグラフィ技術その40年
S&T出版, 2016. <BB01863157>
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リソグラフィ技術その40年
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
コメント
返却予定日
0001
舞鶴高専
図書館書架
549.7||O48
0091840
No.
0001
巻号
所蔵館
舞鶴高専
配置場所
図書館書架
請求記号
549.7||O48
資料ID
0091840
状態
コメント
返却予定日
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書誌詳細
標題および責任表示
リソグラフィ技術その40年
リソグラフィ ギジュツ ソノ 40ネン
出版・頒布事項
東京 : S&T出版 , 2016.12
形態事項
143p : 挿図 ; 30cm
巻号情報
ISBN
9784907002633
注記
参考文献: 章末
注記
索引あり
学情ID
BB24048261
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
岡崎, 信次
オカザキ, シンジ <NC:DA14057979>
著者標目リンク
田中, 初幸
タナカ, ハツユキ <>
著者標目リンク
花畑, 誠
ハナバタ, マコト <>
著者標目リンク
鴨志田, 洋一
カモシダ, ヨウイチ <>
著者標目リンク
野崎, 耕司
ノザキ, コウジ <>
著者標目リンク
渡邊, 健夫
ワタナベ, タケオ <>
著者標目リンク
関口, 淳
セキグチ, アツシ <>
著者標目リンク
Mack, Chris A. <>
著者標目リンク
上野, 巧
ウエノ, タクミ <NC:DA05966288>
分類標目
科学技術 NDLC:ND386
分類標目
電子工学 NDC9:549.7
件名標目等
リソグラフィー||リソグラフィー
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