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フォトレジスト材料開発の新展開
上田充監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2015. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 562 . エレクトロニクスシリーズ). <BB01204563>
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フォトレジスト材料開発の新展開
上田充監修. -- 普及版. -- シーエムシー出版, 2015. -- (CMCテクニカルライブラリー ; 562 . エレクトロニクスシリーズ). <BB01204563>
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No.
巻号
所蔵館
配置場所
請求記号
資料ID
状態
コメント
返却予定日
0001
舞鶴高専
図書館書架
549.7||P56
0090764
No.
0001
巻号
所蔵館
舞鶴高専
配置場所
図書館書架
請求記号
549.7||P56
資料ID
0090764
状態
コメント
返却予定日
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書誌詳細
標題および責任表示
フォトレジスト材料開発の新展開 / 上田充監修
フォトレジスト ザイリョウ カイハツ ノ シンテンカイ
版事項
普及版
出版・頒布事項
東京 : シーエムシー出版 , 2015.11
形態事項
vii, 317p : 挿図 ; 26cm
巻号情報
ISBN
9784781310398
書誌構造リンク
CMCテクニカルライブラリー||CMC テクニカル ライブラリー <BB01290919> 562 . エレクトロニクスシリーズ||エレクトロニクス シリーズ//aa
その他の標題
標題紙タイトル:New trends of photoresists
注記
2009年刊の普及版
注記
文献: 各章末
学情ID
BB19937937
本文言語コード
日本語
著者標目リンク
上田, 充(1948-)
ウエダ, ミツル <NC:DA11731008>
分類標目
電子工学 NDC8:549.7
分類標目
電子工学 NDC9:549.7
件名標目等
リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等
感光性樹脂||カンコウセイジュシ
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