豊田工業高等専門学校
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スパッタ技術

和佐清孝, 早川茂著. -- 共立出版, 1988. <BB01060924>
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スパッタ技術

和佐清孝, 早川茂著. -- 共立出版, 1988. <BB01060924>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 豊田高専 書庫1F 541.6||W 0057326 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 豊田高専
配置場所 書庫1F
請求記号 541.6||W
資料ID 0057326
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 スパッタ技術 / 和佐清孝, 早川茂著
スパッタ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 共立出版 , 1988.6
形態事項 v, 227p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4320084772
注記 文献: 各章末
学情ID BN02297664
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 和佐, 清孝
ワサ, キヨタカ <NC:DA01388430>
著者標目リンク 早川, 茂
ハヤカワ, シゲル <NC:DA00469253>
分類標目 物理化学．理論化学 NDC8:431.86
分類標目 電子工学 NDC8:549
分類標目 NDC7:431.89
件名標目等 薄膜||ハクマク
件名標目等 薄膜||ハクマク
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