長野工業高等専門学校

真空蒸着

ジークフリート・シラー, ウルリッヒ・ハイジッヒ著 ; 日本真空技術株式会社訳. -- アグネ, 1977. <BB01109854>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 長野高専 図書館(閲覧) 431.89||Sc3 20011222 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 長野高専
配置場所 図書館(閲覧)
請求記号 431.89||Sc3
資料ID 20011222
状態
コメント
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 真空蒸着 / ジークフリート・シラー, ウルリッヒ・ハイジッヒ著 ; 日本真空技術株式会社訳
シンクウ ジョウチャク
出版・頒布事項 東京 : アグネ , 1977.5
形態事項 144p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4750704091
その他の標題 原タイトル:Bedampfungs-technik : verfahren Einrichtungen Anwendungen
注記 文献:p139〜144
学情ID BN02783006
本文言語コード 日本語
著者標目リンク Schiller, Siegfried, 1933- <NC:DA02751274>
著者標目リンク Heisig, Ullrich, 1933- <NC:DA02751343>
著者標目リンク 日本真空技術株式会社
ニホン シンクウ ギジュツ カブシキ ガイシャ <NC:DA02751365>
分類標目 NDC6:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND351
件名標目等 薄膜||ハクマク