長野工業高等専門学校
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半導体イオン注入技術

蒲生健次編著. -- 産業図書, 1986. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB01172230>
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半導体イオン注入技術

蒲生健次編著. -- 産業図書, 1986. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB01172230>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 長野高専 図書館(閲覧) 549.8||G18 20023793 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 長野高専
配置場所 図書館(閲覧)
請求記号 549.8||G18
資料ID 20023793
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 半導体イオン注入技術 / 蒲生健次編著
ハンドウタイ イオン チュウニュウ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 産業図書 , 1986.7
形態事項 212p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4782856245
書誌構造リンク 集積回路プロセス技術シリーズ||シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ <BB00383437>//a
注記 各章末:参考文献
学情ID BN00623257
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 蒲生, 健次
ガモウ, ケンジ <NC:DA00678978>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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