長野工業高等専門学校

半導体工場のすべて : 設備・材料・プロセスから復活の処方箋まで

菊地正典著. -- ダイヤモンド社, 2012. <BB01943609>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 長野高専 図書館(閲覧) 549.8||Ki24 10073747 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 長野高専
配置場所 図書館(閲覧)
請求記号 549.8||Ki24
資料ID 10073747
状態
コメント
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 半導体工場のすべて : 設備・材料・プロセスから復活の処方箋まで / 菊地正典著
ハンドウタイ コウジョウ ノ スベテ : セツビ・ザイリョウ・プロセス カラ フッカツ ノ ショホウセン マデ
出版・頒布事項 東京 : ダイヤモンド社 , 2012.8
形態事項 235p : 挿図 ; 21cm
巻号情報
ISBN 9784478017289
その他の標題 標題紙タイトル:All about semiconductor plants : materials, facilities, manufacturing processes and how to turn them around
その他の標題 異なりアクセスタイトル:半導体工場のすべて : 設備材料プロセスから復活の処方箋まで
ハンドウタイ コウジョウ ノ スベテ : セツビ ザイリョウ プロセス カラ フッカツ ノ ショホウセン マデ
学情ID BB10120666
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 菊地, 正典 (1944-)||キクチ, マサノリ <AU00002790>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 電子工学 NDC9:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体||ハンドウタイ