目次
第1部 MEMSデバイス設計・製造編(「MEMS」の世界へようこそ;MEMS圧力センサ設計;MEMS圧力センサ製造工程;身近なMEMSデバイスの動作原理を理解する ほか)
第2部 MEMSシステム設計編(MEMS加速度センサをシステムに組み込む;MEMS加速度センサで無線センサ・ネットワークを構築する;MEMSジャイロ・センサをシステムに組み込む;MEMS慣性デバイスのキラー・アプリ ほか)
第1部 MEMSデバイス設計・製造編(「MEMS」の世界へようこそ;MEMS圧力センサ設計;MEMS圧力センサ製造工程;身近なMEMSデバイスの動作原理を理解する ほか)
第2部 MEMSシステム設計編(MEMS加速度センサをシステムに組み込む;MEMS加速度センサで無線センサ・ネットワークを構築する;MEMSジャイロ・センサをシステムに組み込む;MEMS慣性デバイスのキラー・アプリ ほか)
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