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微細加工のはなし(Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ)
高梨明紘
著
発行年月 |
1986年04月 |
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言語 |
日本語 |
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媒体 |
冊子 |
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ページ数／巻数 |
１５９ｐ |
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大きさ |
19 |
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ジャンル |
和書 |
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ISBN |
9784526020186 |
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商品コード |
0186000842 |
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商品URL
| https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=0186000842 |
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内容
半導体製造における微細加工技術の現状をごくやさしく解説，そこからマイクロメカニズム機器（医療，光情報機器など）への応用，展開を紹介．◎項目 急速に微細化した電子素子 超ＬＳＩを支える微細加工技術 微細部品加工とμメカニズム
