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Microlithography : science and technology

edited by Bruce W. Smith and Kazuaki Suzuki ; : hbk. -- 3rd ed. -- CRC Press, Taylor & Francis Group, 2020. <BB01482065>
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Microlithography : science and technology

edited by Bruce W. Smith and Kazuaki Suzuki ; : hbk. -- 3rd ed. -- CRC Press, Taylor & Francis Group, 2020. <BB01482065>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 : hbk 富山(本郷) 研究室 549||Sm5||3e 2022104588 研究室 0件
No. 0001
巻号 : hbk
所蔵館 富山(本郷)
配置場所 研究室
請求記号 549||Sm5||3e
資料ID 2022104588
状態 研究室
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Microlithography : science and technology / edited by Bruce W. Smith and Kazuaki Suzuki
版事項 3rd ed
出版・頒布事項 Boca Raton, Fla. : CRC Press, Taylor & Francis Group , 2020
形態事項 xi, 837 p. : ill. ; 27 cm
巻号情報
巻次等 : hbk
ISBN 9781439876756
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BC02482046
本文言語コード 英語
著者標目リンク Smith, Bruce W. <> editor
著者標目リンク Suzuki, Kazuaki <> editor
分類標目 LCC:TK7836
分類標目 DC23:621.3815/31
件名標目等 Microlithography -- Industrial applications
件名標目等 Integrated circuits -- Masks
件名標目等 Metal oxide semiconductors, Complementary -- Design and construction
件名標目等 Manufacturing processes
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