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レジスト材料

伊藤洋著 ; 高分子学会編集. -- 共立出版, 2005. -- (高分子先端材料One Point / 高分子学会編集 ; 10). <BB00729994>
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伊藤洋著 ; 高分子学会編集. -- 共立出版, 2005. -- (高分子先端材料One Point / 高分子学会編集 ; 10). <BB00729994>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 富山(本郷) 開架図書 578.08||Ky5||Ko=10 1000653418 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 富山(本郷)
配置場所 開架図書
請求記号 578.08||Ky5||Ko=10
資料ID 1000653418
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 レジスト材料 / 伊藤洋著 ; 高分子学会編集
レジスト ザイリョウ
出版・頒布事項 東京 : 共立出版 , 2005.2
形態事項 iv, 104p : 挿図 ; 19cm
巻号情報
ISBN 4320043723
書誌構造リンク 高分子先端材料One Point / 高分子学会編集||コウブンシ センタン ザイリョウ One Point <BB00574428> 10//a
学情ID BA70954224
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 伊藤, 洋(1946-)
イトウ, ヒロシ <>
著者標目リンク 高分子学会
コウブンシ ガッカイ <NC:DA00047161>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 電子工学 NDC9:549.7
件名標目等 リソグラフィー||リソグラフィー
件名標目等 感光性樹脂||カンコウセイジュシ
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