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The science and engineering of microelectronic fabrication

Stephen A. Campbell. -- 2nd ed. -- Oxford University Press, 2001. -- (The Oxford series in electrical and computer engineering). <BB00341453>
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The science and engineering of microelectronic fabrication

Stephen A. Campbell. -- 2nd ed. -- Oxford University Press, 2001. -- (The Oxford series in electrical and computer engineering). <BB00341453>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 富山(射水) 閲覧室(電動書架1) 549.8||C14||Sc=2e 0100645837 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 富山(射水)
配置場所 閲覧室(電動書架1)
請求記号 549.8||C14||Sc=2e
資料ID 0100645837
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 The science and engineering of microelectronic fabrication / Stephen A. Campbell
版事項 2nd ed
出版・頒布事項 New York : Oxford University Press , 2001
形態事項 xiv, 603 p. : ill. ; 25 cm
巻号情報
ISBN 0195136055
書誌構造リンク The Oxford series in electrical and computer engineering <BB00336367>//a
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA6355280X
本文言語コード 英語
著者標目リンク *Campbell, Stephen A., 1954- <NC:DA09805655>
分類標目 LCC:TK7871.85
分類標目 DC21:621.3815/2
件名標目等 Semiconductors -- Design and construction
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