半導体結晶成長
大野 英男 著
目次
1.走査型トンネル顕微鏡によるシリコン固相エピタキシー過程のその場観察2.Si−Ge系のCVDエピタキシーと原子層成長制御3.GaAsの単分子成長機構ほか8章
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