長岡工業高等専門学校
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超微細加工の基礎 : 半導体製造技術

麻蒔立男著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB01021360>
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超微細加工の基礎 : 半導体製造技術

麻蒔立男著. -- 日刊工業新聞社, 1993. <BB01021360>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 長岡高専 開架図書 549.8||A86 001841402 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 長岡高専
配置場所 開架図書
請求記号 549.8||A86
資料ID 001841402
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 超微細加工の基礎 : 半導体製造技術 / 麻蒔立男著
チョウビサイ カコウ ノ キソ : ハンドウタイ セイゾウ ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1993.3
形態事項 2, viii, 261, ivp ; 21cm
巻号情報
ISBN 4526032840
注記 参考文献: 各章末
学情ID BN08854220
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 麻蒔, 立男(1934-)
アサマキ, タツオ <NC:DA00869433>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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