長岡工業高等専門学校

微細加工とレジスト

野々垣三郎著. -- 共立出版, 1987. -- (高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3). <BB00673834>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 長岡高専 開架図書 578.08||Ko14||3 000016576 0件
0002 長岡高専 開架図書 578.08||Ko14||3a 001760958 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 長岡高専
配置場所 開架図書
請求記号 578.08||Ko14||3
資料ID 000016576
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 長岡高専
配置場所 開架図書
請求記号 578.08||Ko14||3a
資料ID 001760958
状態
コメント
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 微細加工とレジスト / 野々垣三郎著
ビサイ カコウ ト レジスト
出版・頒布事項 東京 : 共立出版 , 1987.11
形態事項 iv, 99p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4320042271
書誌構造リンク 高分子新素材one point / 高分子学会編||コウブンシ シンソザイ one point <BB02203319> 3//b
学情ID BN01734322
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 野々垣, 三郎
ノノガキ, サブロウ <NC:DA01285347>
分類標目 電子工学 NDC8:549.7
分類標目 NDC7:549.8
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 電子光学||デンシコウガク