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Microelectronics processing : chemical engineering aspects

Dennis W. Hess, editor, Klavs F. Jensen, editor. -- American Chemical Society, 1989. -- (Advances in chemistry series ; 221). <BB00145036>
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Microelectronics processing : chemical engineering aspects

Dennis W. Hess, editor, Klavs F. Jensen, editor. -- American Chemical Society, 1989. -- (Advances in chemistry series ; 221). <BB00145036>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 長岡高専 開架図書 549.7||H53 002256659 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 長岡高専
配置場所 開架図書
請求記号 549.7||H53
資料ID 002256659
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Microelectronics processing : chemical engineering aspects / Dennis W. Hess, editor, Klavs F. Jensen, editor
出版・頒布事項 Washington, DC : American Chemical Society , c1989
形態事項 xiv, 547 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0841214751
書誌構造リンク Advances in chemistry series <BB00557085> 221//a
注記 Includes bibliographical references and indexes
学情ID BA07698569
本文言語コード 英語
著者標目リンク Hess, Dennis W. <NC:DA01106164>
著者標目リンク Jensen, Klavs F., 1952- <NC:DA0705518X>
分類標目 LCC:TK7874
分類標目 DC20:621.381
件名標目等 Microelectronics -- Materials
件名標目等 Integrated circuits -- Design and construction
件名標目等 Surface chemistry
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