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	Chemical vapor deposition for microelectronics : principles, technology, and applications by Arthur Sherman. -- Noyes Publications, 1987. -- (Materials science and process technology series). <BB00141313> 便利機能：エクスポート先選択エクスポート先を選択してください。このウインドウを閉じる詳細情報を見る書誌URL：

Chemical vapor deposition for microelectronics : principles, technology, and applications by Arthur Sherman. -- Noyes Publications, 1987. -- (Materials science and process technology series). <BB00141313> 便利機能：エクスポート先選択エクスポート先を選択してください。このウインドウを閉じる詳細情報を見る書誌URL：

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No.	巻号	所蔵館	配置場所	請求記号	資料ID	状態	コメント	返却予定日	予約
0001		長岡高専	開架図書	549\|\|Sh14	002257020				0件


No.	0001
巻号
所蔵館	長岡高専
配置場所	開架図書
請求記号	549\|\|Sh14
資料ID	002257020
状態
コメント
返却予定日
予約	0件

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書誌詳細

標題および責任表示

Chemical vapor deposition for microelectronics : principles, technology, and applications / by Arthur Sherman

出版・頒布事項

Park Ridge, N.J. : Noyes Publications , c1987

形態事項

xi, 215 p. : ill. ; 25 cm

巻号情報

ISBN	0815511361

書誌構造リンク

Materials science and process technology series <BB00577708>//a

注記

Includes bibliographical references and index

学情ID

BA04523081

本文言語コード

英語

著者標目リンク

*Sherman, Arthur <NC:DA02713592>

分類標目

LCC:TS695

分類標目

DC19:621.381/7

件名標目等

Vapor-plating

件名標目等

Integrated circuits -- Design and construction

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