実用ドライエッチング技術

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実用ドライエッチング技術

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  • サイズ B5判／ページ数 208p／高さ 27cm
  • 商品コード 9784947655547
  • Cコード C3055

出版社内容情報

編集委員
　菅原實　群馬大学
執筆者
　菅原實　群馬大学
　半田栄、藤中裕義　東京エレクトロン
　木下治久　静岡大学
　鵜飼勝三　日電アネルバ
　岡田隆　日電アネルバ


半導体デバイスのキイテクノロジーとして，ドライエッチングがウエットエッチングに代
わって登場してから約20年になる。その間の加工精度の向上は驚くべきものである。例え
ば，加工線幅は当初10μm程度だったのが現在では0.1μmに達し，約100文の1の加工が可
能になっている。この先，どの程度まで進むのか，予測もできな

第1章　序説

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