群馬工業高等専門学校
ヘルプ ログイン
  • 目録検索 目録検索 ▼
  • 利用者サービス 利用者サービス ▼
    • 利用状況の確認
    • ブックマーク
    • お気に入り検索
    • 新着アラート
    • ILL複写依頼
    • ILL貸借依頼
    • 新規購入依頼

群馬工業高等専門学校

検索結果一覧へ戻る

超LSI時代のプラズマ化学

「電子材料」編集部編. -- 工業調査会, 1983. <BB00506656>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
詳細情報を見る
書誌URL：

超LSI時代のプラズマ化学

「電子材料」編集部編. -- 工業調査会, 1983. <BB00506656>
登録タグ：
登録されているタグはありません
便利機能：
詳細情報を見る
書誌URL：

所蔵一覧 1件～2件（全2件）

ナンバーをクリックすると所蔵詳細をみることができます。

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 群馬高専 図書_開架 431.7||D59 1070142 0件
0002 群馬高専 図書_開架 572.5||D59 1065246 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 群馬高専
配置場所 図書_開架
請求記号 431.7||D59
資料ID 1070142
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
No. 0002
巻号
所蔵館 群馬高専
配置場所 図書_開架
請求記号 572.5||D59
資料ID 1065246
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
このページのTOPへ

書誌詳細

標題および責任表示 超LSI時代のプラズマ化学 / 「電子材料」編集部編
チョウ LSI ジダイ ノ プラズマ カガク
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1983.9
形態事項 6, 213p : 挿図 ; 22cm
巻号情報
ISBN 4769310315
注記 参考文献: 各章末
学情ID BN00621353
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 電子材料編集部
デンシ ザイリョウ ヘンシュウブ <NC:DA00677476>
分類標目 物理化学．理論化学 NDC8:431.7
分類標目 科学技術 NDLC:PA181
分類標目 科学技術 NDLC:MC241
件名標目等 プラズマ||プラズマ
このページのTOPへ
検索結果一覧へ戻る
このページのTOPへ

  • 関連情報

    関連資料

    他の検索サイトで探す

    他大学資料確認

    資料を取り寄せる

    • ILL複写依頼(コピー取り寄せ)
    • ILL貸借依頼(現物借用)

    購入依頼

    この書誌のQRコード