群馬工業高等専門学校
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プラズマと成膜の基礎

小沼光晴著. -- 日刊工業新聞社, 1986. <BB01511731>
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プラズマと成膜の基礎

小沼光晴著. -- 日刊工業新聞社, 1986. <BB01511731>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 群馬高専 図書_開架 572.5||Ko78 1057336 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 群馬高専
配置場所 図書_開架
請求記号 572.5||Ko78
資料ID 1057336
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 プラズマと成膜の基礎 / 小沼光晴著
プラズマ ト セイマク ノ キソ
出版・頒布事項 東京 : 日刊工業新聞社 , 1986.8
形態事項 iv, 202, iiip ; 22cm
巻号情報
ISBN 4526020656
注記 各章末: 文献
学情ID BN00233219
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 小沼, 光晴(1950-)
コヌマ, ミツハル <NC:DA00302633>
分類標目 電磁気学 NDC8:427.6
分類標目 物理化学．理論化学 NDC8:431.7
分類標目 NDC7:427.5
件名標目等 プラズマ||プラズマ
件名標目等 プラズマ||プラズマ
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