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トコトンやさしい超微細加工の本(Ｂ＆Ｔブックス)　

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価格 \1,540（税込）

発行年月	2004年01月
出版社／提供元	日刊工業新聞社
言語	日本語
媒体	冊子
ページ数／巻数	１５９ｐ
大きさ	21
ジャンル	和書
ISBN	9784526052262
商品コード	0104007936
NDC分類	549
基本件名	電子工学
商品URL	https://kw.maruzen.co.jp/ims/itemDetail.html?itmCd=0104007936

著者紹介

麻蒔　立男（著者）：昭和９年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。日電バリアン（現、アネルバ）設立。同社取締役も務めた。現在、東京理科大学嘱託教授。著書に「真空の話」「薄膜作成の基礎」ほか。

内容

電子デバイスに欠かせないキーテクノロジーであり、ナノテクノロジーの中核技術として注目されている超微細加工について、半導体部品などへの適応を中心に、基礎を図解でやさしく解説する。

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