内容説明
ナノサイズの素子を作るためのキーテクノロジーである放電プラズマ。その各装置と応用の両面での参考書。
目次
第１章 放電・プラズマの概要（放電・プラズマとは；高度情報化社会を支える放電技術 ほか）
第２章 物質の構成要素と気体（物質の最小微粒子；電子の３つの顔 ほか）
第３章 放電プラズマの基礎（電子と分子の衝突；放電開始 ほか）
第４章 放電プラズマ直接応用（スパッタ薄膜；プラズマＣＶＤ ほか）
第５章 プラズマ・プロセス応用（垂直磁気記録；超ＬＳＩ ほか）
著者等紹介
小林春洋［コバヤシハルヒロ］
大正１４年福島県に生まれる。昭和２４年東北大学電気工学科卒業、東北大学工学部大学院特別研究生。昭和３１年東北大学工学部助教授、日本電気株式会社。昭和３３年工学博士（東北大学）。昭和４８年日電バリアン（株）（現キヤノンアネルバ（株））。昭和６０年（株）トーキン。昭和６３年同退職。１９７１～１９８９東京都立大学工学部電気工学科非常勤講師。１９９１～２００２東京電機大学工学部電子工学科非常勤講師。１９９２～１９９５中央大学理工学部兼任講師（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）
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感想・レビュー
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tanipo
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2007年初版。19-20世紀の気体放電を調べるために読んだ。3.5節がグロー放電でここだけ自分に必要であった。以降はプラズマのお話。2021/01/08
