Design wave mook<br> MEMS開発&活用スタートアップ―動作原理、設計・製造工程から応用事例まで

Design wave mook
MEMS開発&活用スタートアップ―動作原理、設計・製造工程から応用事例まで

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  • サイズ A5変判/ページ数 216p/高さ 24cm
  • 商品コード 9784789837163
  • NDC分類 530
  • Cコード C3055

目次

第1部 MEMSデバイス設計・製造編(「MEMS」の世界へようこそ;MEMS圧力センサ設計;MEMS圧力センサ製造工程;身近なMEMSデバイスの動作原理を理解する ほか)
第2部 MEMSシステム設計編(MEMS加速度センサをシステムに組み込む;MEMS加速度センサで無線センサ・ネットワークを構築する;MEMSジャイロ・センサをシステムに組み込む;MEMS慣性デバイスのキラー・アプリ ほか)