集積回路プロセス技術シリーズ<br> 半導体評価技術

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集積回路プロセス技術シリーズ
半導体評価技術

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  • サイズ A5判/ページ数 330p/高さ 22X16cm
  • 商品コード 9784782856277
  • NDC分類 549.8
  • Cコード C3055

目次

1 半導体デバイスプロセスと評価
2 半導体結晶の不完全性と評価
3 評価の目的と評価技術の選択
4 評価のための基礎技術
5 顕微鏡・電子線およびX線用いた構造評価技術
6 電気的評価技術
7 光学的評価技術
8 機器分析

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