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シリコン : 結晶成長とウエーハ加工

阿部孝夫著. -- 培風館, 1994. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 5). <BB00889623>
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シリコン : 結晶成長とウエーハ加工

阿部孝夫著. -- 培風館, 1994. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修 ; カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 5). <BB00889623>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 仙台(広瀬) (広瀬)一般図書 459||A11||5 S00055092 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 仙台(広瀬)
配置場所 (広瀬)一般図書
請求記号 459||A11||5
資料ID S00055092
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 シリコン : 結晶成長とウエーハ加工 / 阿部孝夫著
シリコン : ケッショウ セイチョウ ト ウエーハ カコウ
出版・頒布事項 東京 : 培風館 , 1994.5
形態事項 xii, 361p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4563036056
書誌構造リンク アドバンストエレクトロニクスシリーズ / 菅野卓雄 [ほか] 監修||アドバンスト エレクトロニクス シリーズ <BB00825289> カテゴリーI . エレクトロニクス材料・物性・デバイス||エレクトロニクス ザイリョウ ブッセイ デバイス ; 5//aa
注記 各章末: 参考文献
学情ID BN10742751
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 阿部, 孝夫
アベ, タカオ <NC:DA00407176>
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
件名標目等 結晶成長||ケッショウセイチョウ
件名標目等 電子部品||デンシブヒン
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