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ウルトラ・クリーン化技術 : 三菱電機/東北大学の挑戦

赤堀正幸著. -- ダイヤモンド社, 1988. <BB01575652>
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ウルトラ・クリーン化技術 : 三菱電機/東北大学の挑戦

赤堀正幸著. -- ダイヤモンド社, 1988. <BB01575652>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 コメント 返却予定日 予約
0001 仙台(広瀬) (広瀬)一般図書 549.8||A13 S00033711 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 仙台(広瀬)
配置場所 (広瀬)一般図書
請求記号 549.8||A13
資料ID S00033711
状態
コメント
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 ウルトラ・クリーン化技術 : 三菱電機/東北大学の挑戦 / 赤堀正幸著
ウルトラ クリーンカ ギジュツ : ミツビシ デンキ トウホク ダイガク ノ チョウセン
出版・頒布事項 東京 : ダイヤモンド社 , 1988.4
形態事項 vi, 230p ; 19cm
巻号情報
ISBN 4478240434
学情ID BN02559589
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 赤堀, 正幸(1940-)
アカホリ, マサユキ <NC:DA02554987>
分類標目 建築設備．設備工学 NDC8:528.2
分類標目 科学技術 NDLC:NA266
件名標目等 空気 -- 浄化||クウキ -- ジョウカ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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